ÃÊÁ¡ ÁÖº¯ÀÇ È¸ÀýÀ» Çؼ®ÇÑ´Ù.
¼öÂ÷¸¦ °¡ÁöÁö ¾ÊÀº °æ¿ì ÃÊÁ¡¿¡´Â Ãâ»çµ¿°øÀÇ È¸Àý¹«´Ì°¡ ¸ÎÈù´Ù. ÀÌ´Â ¿øÇü±¸¸ÛÀÇ È¸ÀýÀÇ »óȲÀ̹ǷΠÃÊÁ¡¸é¿¡¼´Â ¿¡¾î¸® ¿øÆÇÀ» ºñ·ÔÇؼ 1Â÷, 2Â÷ µîÀÇ ¿øÇü Å׵θ®°¡ ³ªÅ¸³´Ù. ÇÑÆí ¹Ý°æÀÌ $a$ÀÎ Ãâ»çµ¿°øÀÌ ¼öÂ÷¸¦ °¡Áö°í ÀÖÀ¸¸é ÀÌ È¸Àý¹«´Ì´Â ¼öÂ÷ÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î ¿Ö°îµÈ´Ù.
¾Æ·¡ ±×¸²Àº ¼öÂ÷°¡ ¾ø´Â ÀÌ»óÀûÀÎ ±¸¸éÆÄ°¡ ÃÊÁ¡ ¿µ¿ª¿¡¼ ȸÀýµÇ´Â °ÍÀ» º¸¿©ÁØ´Ù. ¿ì¼± ÀÌ·¸°Ô ¼öÂ÷°¡ ¾øÀ» ¶§ ÃÊÁ¡ ¿µ¿ª¿¡ Çü¼ºµÇ´Â ȸÀý»óÀ» °è»êÇØ º¸ÀÚ.
graphic |
|
¼ö·ÅÇÏ´Â ±¸¸éÆÄÀÇ È¸Àý_ÃÊÁ¡(focus)À» ÇâÇØ ¸ð¿©µå´Â ±¸¸éÆÄ´Â ½ÇÁ¦·Î ȸÀý¿¡ ÀÇÇØ ÃÊÁ¡ ¿µ¿ª¿¡ ȸÀý¹«´Ì¸¦ ¸¸µç´Ù. ±¸¸éÀÇ ÇÑ Á¡ $Q$¿¡¼ ³ª¿À´Â ºûÀÌ $s$ ¶³¾îÁø $P$ Á¡¿¡ µµ´ÞÇÏ´Â °ÍÀ» ³ªÅ¸³»¾ú´Ù.
|
±×¸²¿¡¼ ³ªÅ¸³½ °Íó·³ $(x, y, z)$´Â Ãâ»çµ¿°ø ÁÂÇ¥°è¿¡¼ÀÇ ÁÂÇ¥°ªÀ¸·Î µ¿°øÀÇ Áß½ÉÁ¡À» ¿øÁ¡À¸·Î ÇÑ´Ù. $Q$Á¡Àº ±¸¸é À§ÀÇ ÇÑ Á¡À¸·Î À§»óÀÌ ¸ðµÎ µ¿ÀÏÇÏ´Ù. $(X, Y, Z)$´Â ȸÀýµÇ´Â ºûÀÌ µµ´ÞÇÏ´Â »ó¿µ¿ª ÁÂÇ¥°ªÀ¸·Î ±¸¸éÀÇ Áß½É, Áï ÃÊÁ¡À» ¿øÁ¡À¸·Î ÇÑ´Ù. ¼öÂ÷¿¡ ÀÇÇØ ÃÖÀûÀÇ °á»ó¸éÀÌ À̵¿µÉ ¼ö Àֱ⠶§¹®¿¡ ÃÊÁ¡¸éÀ» ¹þ¾î³ À§Ä¡¸¦ Æ÷ÇÔÇؼ ÀϹÝÀûÀÎ $P$ Á¡¿¡¼ÀÇ È¸Àý»óÀ» °è»êÇϵµ·Ï ÇÑ´Ù.
$P$ Á¡ÀÇ Æĵ¿·®Àº __'ȸÀýÀÌ·Ð'__ ´Ü¿ø¿¡¼ÀÇ ÇÁ·¹³Ú-Å°¸£È÷È£ÇÁ ȸÀý°ø½Ä¿¡ ÀÇÇØ ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ Á¤¸®µÈ´Ù. \[ \begin{equation} \label{eq1} U_P \propto \int_{\mathrm{pupil}} \frac{e^{iks}}{s} dA. \end{equation} \] ¿©±â¼´Â ¿ø·¡ ȸÀý°ø½Ä¿¡ ÀÖ´Â °æ»çÀÎÀÚ¸¦ 1·Î µÎ¾ú´Ù. ÀûºÐÀº µ¿°ø Àüü¿¡ °ÉÃļ ÇϵÇ, °¢ µ¿°ø¿¡¼ ³ª°¡´Â ºûÀÌ $P$¿¡ µµ´ÞÇÒ ¶§ÀÇ À§»óÀº µ¿°øÀÇ ÇÑ Á¡¿¡ ´ëÀÀµÇ´Â ±¸¸é À§ÀÇ Á¡À¸·ÎºÎÅÍ $P$±îÁöÀÇ ±¤°æ·Î $s$¿¡¸¸ ÀÇÁ¸ÇÑ´Ù. ÀÌÁ¦ $s$¸¦ µÎ Á¡ÀÇ ÁÂÇ¥°ªÀ¸·Î ³ªÅ¸³»¸é, \[ \eqalign{ s &=& \sqrt{(X-x)^2 + (Y-y)^2 + (Z-z+f)^2} \\ &\approx & f \left(1+ \frac{X^2 + Y^2}{f^2} + \frac{x^2 + y^2}{f^2} - 2\frac{Xx+Yy}{f^2} + 2\frac{Z-z}{f} - 2 \frac{Zz}{f^2} \right)^{1/2}. } \] ¿©±â¼ $Z^2, z^2$ Ç×À» ¹«½ÃÇß´Ù. ÀÌÁ¦ µ¿°ø°ú ȸÀýÁöÁ¡ÀÇ ÁÂÇ¥¸¦ ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ ¿øÅëÁÂÇ¥ $(\rho, \theta)$, $(r, \phi)$·Î ³ªÅ¸³»ÀÚ. \[ x = a \rho \cos \theta, ~ ~ y = a \rho \sin \theta, \] \[ X = b r \cos \phi, ~ ~ Y = b r \sin \phi. \] ¿©±â¼ $a$´Â µ¿°øÀÇ ¹Ý°æÀ̹ǷΠµ¿°ø¿µ¿ªÀº $0\leq \rho \leq 1$·Î Á¦Çѵǰí, ¶ÇÇÑ $\rho$´Â ôµµ¾ø´Â ¾çÀÌ µÈ´Ù. ÇÑÆí $b$´Â ÃÊÁ¡¿µ¿ª¿¡¼ ôµµ¾ø´Â $r$À» µµÀÔÇϱâ À§ÇÑ °ÍÀ¸·Î ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ Á¤ÀÇÇÏÀÚ. \[ b = \frac{f}{ak} = \frac{\lambda}{2\pi NA} \] À̸¦ ÀÌ¿ëÇؼ $s$¸¦ Á¤¸®Çϸé, \[ \begin{equation} \label{eq6} s \approx f + \frac{1}{2} \frac{b^2 r^2}{f} + \frac{1}{2} \frac{a^2 \rho^2}{f} - \frac{ab r\rho \cos(\theta-\phi)}{f} + (Z-z) - \frac{Zz}{f}. \end{equation} \] ÀÌ´Ù. $Z$ ¿ª½Ã ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ Ã´µµ¾ø´Â °ªÀ¸·Î ³ªÅ¸³»ÀÚ. \[ u = \frac{k}{2} \left( \frac{a}{f} \right)^2 Z = \frac{k NA^2}{2} Z, ~ ~ ~ ~ Z = \frac{2}{k} \left( \frac{f}{a} \right)^2 u. \] ¿©±â¼ $u$´Â $Z$¸¦ ôµµ¾ø´Â °ªÀ¸·Î µÐ °ÍÀ¸·Î ÃÊÁ¡È帲°ª(defocus parameter)À̶ó ÇÑ´Ù. ÇÑÆí $(x, y, z)$´Â ±¸¸é À§ÀÇ Á¡À̹ǷΠ\[ z \approx \frac{x^2+y^2}{2f} = \frac{a^2 \rho^2}{2f} \] ÀÌ´Ù. µû¶ó¼ \eqref{eq6} ½ÄÀÇ ¿À¸¥ÂÊ ¼¼ ¹ø° Ç×Àº $z$·Î µÚÀÇ $-z$¿Í ¼Ò°ÅµÈ´Ù.
$s$¿¡¼ ÀûºÐº¯¼ö $(\rho, \theta)$¸¦ Æ÷ÇÔÇÏ°í ÀÖ´Â Ç׵鸸 ³²±ä´Ù. ³ª¸ÓÁö Ç×µéÀº $e^{is'}$ Çü½ÄÀ¸·Î °öÇØÁö´Â µ¥ ÀÌ´Â ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î ±¤·®°è»ê¿¡¼ ±â¿©ÇÏ´Â È¿°ú°¡ ¾ø¾îÁö±â ¶§¹®ÀÌ´Ù. ÀÌÁ¦ ôµµ¾ø´Â ¾çµé·Î $s$¸¦ ´Ù½Ã Á¤¸®Çϸé, \[ s \approx - \frac{r \rho \cos(\theta-\phi)}{k} - \frac{u \rho^2}{k} + \mathrm{other} ~ ~ \mathrm{terms} \] ÀÌ °á°ú¸¦ \eqref{eq1}¿¡ ´ëÀÔ½ÃÅ°µÇ ºÐ¸ðÀÇ $s$µµ °ÅÀÇ $f$·Î º¼ ¼ö ÀÖ¾î ºñ·Ê»ó¼ö¿¡ Èí¼ö½ÃŲ´Ù. \[ U(r, \phi, u) \propto \int_{0}^1 \int_0^{2\pi} e^{-i u\rho^2} e^{-ir\rho \cos(\theta-\phi)} d\theta \rho d\rho \] ÃÊÁ¡ ÁÖº¯¿¡¼ ȸÀýÇÑ ºûÀÇ Æĵ¿·®À» Ç¥ÇöÇß´Ù. ÀÌ °á°ú´Â ¸ðµÎ ôµµ¾ø´Â ÁÂÇ¥°ªÀ¸·Î Ç¥ÇöÇß°í, µû¶ó¼ ºûÀÇ ÆÄÀåÀ̳ª $NA$ µîÀÇ °ªµéÀº ³ªÅ¸³ªÁö ¾Ê´Â º¸ÆíÀûÀÎ °ü°è·Î Á¤¸®µÈ °ÍÀÌ´Ù. ¿©±â¼ $\theta$ÀÇ ÀûºÐÀº º£¼¿ ÇÔ¼ö ²Ã·Î ÀûºÐµÇ¾î ´ÙÀ½°ú °°ÀÌ Á¤¸®µÈ´Ù. \[ U(r, \phi, u) \propto \int_{0}^1 e^{-i u\rho^2} J_0(r\rho) \rho d\rho \]
$u=0$ÀÇ °æ¿ì´Â ÃÊÁ¡¸é¿¡¼ÀÇ È¸ÀýÀÌ µÈ´Ù. $\int_0^t J_0 (t') t'dt' = t J_1 (t)$ °ü°è¸¦ ÀÌ¿ëÇϸé $U(r, \phi, 0) \propto \frac{J_1(r)}{r}$·Î ¿øÇü±¸¸Û ȸÀý°ú °°Àº °á°ú°¡ µÇ´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
Æĸé¼öÂ÷°¡ Àִ ȸÀý°ü°è
ÀÌÁ¦ ÆĸéÀÌ ±¸¸é¿¡¼ ¹þ¾î³ °æ¿ì·Î º¸´Ù ÀϹÝȽÃÅ°µµ·Ï ÇÑ´Ù. Æĸé¼öÂ÷ $\Phi(\rho, \theta)$´Â ¹þ¾î³ Á¤µµ¸¦ À§»óÀ¸·Î ³ªÅ¸³½ °ÍÀ̹ǷΠÀ̸¦ $s$¿¡ ´õÇؼ Ç¥ÇöÇÏ¸é µÈ´Ù. Áï, \eqref{eq1} Àº, \[ U_P \propto \int_{\mathrm{pupil}} \frac{e^{iks + i\Phi(\rho, \theta)}}{s} dA \] ÀÌ´Ù. µû¶ó¼ ÃÖÁ¾ °á°úµµ ¾Õ¼¿Í °°Àº ÀýÂ÷·Î Àü°³µÇ¾î ´ÙÀ½À¸·Î Á¤¸®µÈ´Ù. \[ U(r, \phi, u) \propto \int_{0}^1 \int_0^{2\pi} e^{i\Phi(\rho, \theta)} e^{-i u\rho^2} e^{-ir\rho \cos(\theta-\phi)} d\theta \rho d\rho \] ÀÌ´Â ¼öÂ÷ÀÇ ¿µÇâÀ¸·Î °á»óÁöÁ¡ ºÎ±Ù¿¡ Çü¼ºµÇ´Â ȸÀý»óÀ» ÃÑüÀûÀ¸·Î ´Ù·ê ¼ö ÀÖ´Â °ü°è½ÄÀÌ´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ ÀÌ·Ðü°è¸¦ ¼öÂ÷ȸÀýÀÌ·Ð(aberration diffraction theory)À̶ó ÇÑ´Ù.
[Áú¹®1]
$m=0, n=0$Â÷ Á¦¸£´ÏÄÉ ÇÔ¼öÀÇ ¼öÂ÷¸¦ pistonÀ̶ó ÇÑ´Ù. µû¶ó¼ ÀÌ ¼öÂ÷¸¸ ÀÖ´Ù¸é Æĸé¼öÂ÷ÇÔ¼ö $\Phi(\rho, \theta) = \alpha_0^0 \cdot 1$ÀÌ´Ù. ÀÌ ¼öÂ÷°¡ ÀÖ´õ¶óµµ ȸÀý»óÀÌ ´Þ¸®ÁöÁö ¾Ê´Â ÀÌÀ¯¸¦ ¼öÂ÷ȸÀý °ü°è½ÄÀ¸·Î °ËÁõÇ϶ó.
[Áú¹®2]
defocus´Â $m=0, n=2$ÀÇ °æ¿ì·Î¼ Á¦¸£´ÏÄÉ ÇÔ¼ö°¡ $-1+2\rho^2$ÀÌ´Ù. ¼öÂ÷°ªÀ¸·Î $\alpha_2^0$ °¡ Á¸ÀçÇÒ ¶§ ÀÌÀÇ ÃÑüÀûÀÎ È¿°ú·Î ÃÊÁ¡ÀÇ À§Ä¡°¡ $2\alpha_2^0$ ¸¸Å ´ç°ÜÁö´Â °ÍÀ» ¼öÂ÷ȸÀý °ü°è½ÄÀ¸·ÎºÎÅÍ °ËÁõÇ϶ó.
_ ¿øÇü±¸¸Û ȸÀý_ ¿¡¾î¸® ¿øÆÇ_ º£¼¿ ÇÔ¼ö_ °æ»çÀÎÀÚ_ ȸÀý°ø½Ä_ Æĵ¿·®_ ±¸¸éÆÄ_ ±¤°æ·Î_ À§»ó_ ÃÊÁ¡_ Æĸé_ ¼öÂ÷
|