반도체 측정장비를 만드는 일을 하고있습니다.
반도체 웨이퍼상의 이미지를 확대하여 ccd 카메라로 이 영상을 분석하는 장비인데..
질문 : 렌즈 아래쪽에 웨이퍼를 놓는 위치가 궁금합니다.
렌즈의 물체 촛점위치에 웨이퍼를 위치한다고 흔히들 알고 있는데, 제 생각은 다릅니다.
물체 촛점위치가 아닌 working distance에 물체(웨이퍼)를 놓는거 아닙니까?
그리고, working distance position과 object focal length position은 다른거 아닙니까? (즉, working distance와
front focal length 는 서로 다른 위치를 가리킨다라는게 저의 생각입니다.)
object focal length의 의미와 working distance의 의미를 확실히 알고 있습니다.
저희 장비는 웨이퍼위에 objective lens(몇개의 렌즈 조합으로 이루어짐)가 있고, 그 위로 tube lens(이것도 몇개의 렌즈 조합으로 이루어짐) 라고 일컫는 것이 있고, 그위에 ccd가 있습니다.
물론 objective lens 아래쪽에 웨이퍼가 놓입니다.
답답하네요... 물체의 빛이 objective lens를 통과해 나오면 평행광이라고 생각하는 분들을 이해할 수 없습니다. 이건 focal point의 한점으로부터 나온 빛이 lens를 통과한 후에는 평행하게 나아간다는 의미인데, 물체의 초점을 맞춘다는 의미를 물체를 front focal point에 갖다 놓는다는 의미로 알고있는듯 싶은데, 이를 틀린 생각이라고 꼬집어주고 싶습니다. 그런데, 내가 독학으로 알아낸것이라 강력하게 주장하기가 좀 .... 전공하시는분들께서 확신을 주신다면 정말 고맙겠습니다.
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