> ¿í½º´Ô²²¼ ¸»¾¸ÇϽñæ.... > > > Á¤±â¼ö´Ô²²¼ ¸»¾¸ÇϽñæ.... > > > > > ¿í½º´Ô²²¼ ¸»¾¸ÇϽñæ.... > > > > > > ´ÜÀÏ ÆÄÀåÀÇ ºûÀÌ ¸ÅÁúÀ» Åë°ú½Ã > > > ¸ÅÁúÀÇ ±¼ÀýÀ²¿¡ µû¶ó¼ ¸ÅÁú³»¿¡¼ ºûÀÇ ¼Óµµ°¡ º¯ÇÑ´Ù°í > > > µé¾ú½À´Ï´Ù. > > > ±×·±µ¥, ±Ã±ÝÇÑ °ÍÀº ¸ÅÁúÀÇ µÎ²²¿¡ µû¶ó¼ ¸ÅÁúÀÇ > > > ±¼Àý·üÀÌ Æ²·ÁÁö³ª¿ä? > > > ±×¸®°í, ¸ÅÁúÀÇ µÎ²²¿¡ µû¶ó¼ > > > ¸ÅÁú³»ÀÇ ¹Ý»çÀ²À̳ª Èí¼öÀ²µµ º¯ÇÏ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù. > > > ¼ö°íÇϼ¼¿ä. > > - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - > > ±¼Àý·üÀº ¹úÅ©(bulk : µ¢¾î¸®)ÀÇ Æ¯¼ºÀÔ´Ï´Ù. µû¶ó¼ µÎ²²¿¡´Â ¹«°üÇÑ ¹°Ã¼ÀÇ Æ¯¼ºÀÔ´Ï´Ù. ´ÜÁö µÎ²²°¡ ºûÀÇ ÆÄÀå¿¡ ºñ°ßÇÒ Á¤µµÀÌÇÏ¸é ºûÀÇ ±¼ÀýÀ̳ª ¹Ý»ç½Ã ±¼ÀýÀÇ ¹ýÄ¢À̳ª ¹Ý»çÀÇ ¹ýÄ¢À» ¸¸Á·ÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. µû¶ó¼ ±¼Àý·üÀº º¯ÇÔÀÌ ¾ø´õ¶óµµ ¹Ý»ç³ª ±¼ÀýÀ» ´Þ¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. > > > > Á¤±â¼ö > > --------------------------------------------------------- > ¾È³çÇϼ¼¿ä. Ãß°¡·Î Áú¹®ÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù. > ±¤¿øÀÌ 248nmÁ¤µµÀÌ°í, ¹Ú¸·ÀÌ 5nm~200nmÁ¤µµÀ϶§´Â > ¾î¶»°Ô µÇ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù. > > 5nm~200nm À϶§, 5nmÀ϶§³ª 200nmÀ϶§³ª ±¼Àý·ü(n)ÀÌ > ÀÏÁ¤ÇÑÁö¿ä. À§Çؼ ¸»¾¸ÇϽŴë·Î¶ó¸é, ±¼Àý·ü(n)Àº > 5nmÀ϶§³ª 200nmÀ϶§³ª °°Áö¸¸ ½ÇÁ¦ÀÇ ±¼Àý°¢À̳ª ¹Ý»ç°¢ÀÌ > Ʋ·ÁÁö°Ô µÇ´Â °Ç°¡¿ä? > > ±×¸®°í, ÀÌ·¸°Ô ¹Ú¸·À϶§´Â ¾î¶»°Ô ¹Ý»ç³ª ±¼ÀýÀ» ¾Ë¾Æ³¾ ¼ö > ÀÖ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù. > > ±¤Çп¡ ¹«ÁöÇÑ Àú·Î¼´Â µüÈ÷ Ã¥À» ºÁµµ Àß ÀÌÇØ°¡ > ¾È°¡¼ °è¼Ó ¹°¾îº¸°Ô µÇ´Â±º¿ä. ¿Ã¸®´Â ±Û¿¡ ´äº¯Áּż > °¨»çÇÒ µû¸§ÀÔ´Ï´Ù. > > ¼ö°íÇϼ¼¿ä. > - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
Áú¹® ÇϽŠºÎºÐÀº Á» Àü¹®ÀûÀÎ ¿µ¿ªÀÔ´Ï´Ù. ¾Õ¼ÀÇ ´ë´ä¿¡¼ ±¼ÀýÀ̳ª ¹Ý»çÀÇ ¹ýÄ¢ÀÌ µÎ²¨¿î ¹úÅ©¿¡ ºñÇÏ¿© ´Þ¶óÁø´Ù°í ÇÑ°ÍÀº ±¼Àý°¢À̳ª ¹Ý»ç°¢ÀÌ ´Þ¶óÁø´Ù´Â °ÍÀº ¾Æ´Ï°í ´ÜÁö ¹Ý»ç³ª ±¼Àý½Ã ±× µÎ²²¿¡ ÀÇÇÑ È¿°ú°¡ °¡¼¼µÈ´Ù´Â °ÍÀ̾ú½À´Ï´Ù.
µÎ²² ¶§¹®¿¡ ¿À´Â È¿°ú¶ó´Â °ÍÀº ¾Õ¸é°ú µÞ¸é µÎ ¸é¿¡¼ ¹Ý»ç µÈ ºûÀÌ ¸¸³ª¼ °£¼·ÀÌ ÀϾ±â ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. Áï ÀϹÝÀûÀÎ ¹Ý»çÇö»ó¿¡ °£¼·ÀÌ °¡¹ÌµÇ¾î ÀÔ»çÇÏ´Â ºûÀÇ Æí±¤¿¡ µû¶ó¼ ´Ù¸¥ Æí±¤»óÅ·Π¹Ý»çµË´Ï´Ù. (±¼Àýµµ ¸¶Âù°¡Áö)
ÇÑ °æ°è¿¡¼ÀÇ ¹Ý»ç³ª ±¼ÀýÀÇ ¹ýÄ¢Àº Fresnel EquationÀ¸·Î Àß ¾Ë·ÁÁ® Àִµ¥ ÀÌ´Â º¸ÅëÀÇ ÇкΠ"±¤ÇÐ"À̳ª "ÀüÀÚ±âÇÐ" ±³Àç¿¡ ³ª¿Í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ ½ÄÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÏ¿© ¹Ú¸·¿¡¼ÀÇ °£¼·È¿°ú¸¦ °í·ÁÇÑ À̷нÄÀ» ¼¼¿ï ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. À̸¦ ¼Ò°³ÇÑ Àü¹® µµ¼·Î´Â "Ellipsometry and Polarized Light" (Azzam & Bashara Àú) ¶ó´Â Ã¥À» µé ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Áú¹®ÇϽŠ³»¿ëÀ» ¸ðµÎ ÃæÁ·ÇÒ¸¸ÇÑ ³»¿ëÀ» ´ã°í ÀÖ½À´Ï´Ù. (±¼Àý·ü¿¡ °ü°èµÈ ¹°¼ºÀ» ÃøÁ¤ÇÏ´Â ±â°è¸¦ Ellipsometer¶ó°í ÇÏ¿© ´õ·¯ ¹°¸®ÇÐÀ̳ª ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ¿¬±¸½Ç¿¡ ÀÖÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.)
Á¤±â¼ö |
|