Áú¹®°ú ´ä - ³»¿ë
Á¦¸ñ: [Re][Re][Re]¸ÅÁúµÎ²²¿¡ µû¸¥ ±¼ÀýÀ² º¯È­¿©ºÎ
540¹ø ±ÛÀ»2002-10-04 ¿ÀÀü 11:23:35¿¡ Á¤±â¼ö ´ÔÀÌ ³²°ÜÁּ̽À´Ï´Ù.
ÀÌ ±ÛÀº 2497¹ø Á¶È¸µÇ¾ú½À´Ï´Ù.

> ¿í½º´Ô²²¼­ ¸»¾¸ÇϽñæ....
>
> > Á¤±â¼ö´Ô²²¼­ ¸»¾¸ÇϽñæ....
> >
> > > ¿í½º´Ô²²¼­ ¸»¾¸ÇϽñæ....
> > >
> > > ´ÜÀÏ ÆÄÀåÀÇ ºûÀÌ ¸ÅÁúÀ» Åë°ú½Ã
> > > ¸ÅÁúÀÇ ±¼ÀýÀ²¿¡ µû¶ó¼­ ¸ÅÁú³»¿¡¼­ ºûÀÇ ¼Óµµ°¡ º¯ÇÑ´Ù°í
> > > µé¾ú½À´Ï´Ù.
> > > ±×·±µ¥, ±Ã±ÝÇÑ °ÍÀº ¸ÅÁúÀÇ µÎ²²¿¡ µû¶ó¼­ ¸ÅÁúÀÇ
> > > ±¼Àý·üÀÌ Æ²·ÁÁö³ª¿ä?
> > > ±×¸®°í, ¸ÅÁúÀÇ µÎ²²¿¡ µû¶ó¼­  
> > > ¸ÅÁú³»ÀÇ ¹Ý»çÀ²À̳ª Èí¼öÀ²µµ º¯ÇÏ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.
> > > ¼ö°íÇϼ¼¿ä.
> > - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -
> > ±¼Àý·üÀº ¹úÅ©(bulk : µ¢¾î¸®)ÀÇ Æ¯¼ºÀÔ´Ï´Ù. µû¶ó¼­ µÎ²²¿¡´Â ¹«°üÇÑ ¹°Ã¼ÀÇ Æ¯¼ºÀÔ´Ï´Ù. ´ÜÁö µÎ²²°¡ ºûÀÇ ÆÄÀå¿¡ ºñ°ßÇÒ Á¤µµÀÌÇÏ¸é ºûÀÇ ±¼ÀýÀ̳ª ¹Ý»ç½Ã ±¼ÀýÀÇ ¹ýÄ¢À̳ª ¹Ý»çÀÇ ¹ýÄ¢À» ¸¸Á·ÇÏÁö ¾Ê½À´Ï´Ù. µû¶ó¼­ ±¼Àý·üÀº º¯ÇÔÀÌ ¾ø´õ¶óµµ ¹Ý»ç³ª ±¼ÀýÀ» ´Þ¸®ÇÒ ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.
> >
> > Á¤±â¼ö
> > ---------------------------------------------------------
> ¾È³çÇϼ¼¿ä. Ãß°¡·Î Áú¹®ÀÌ ÀÖ½À´Ï´Ù.
> ±¤¿øÀÌ 248nmÁ¤µµÀÌ°í, ¹Ú¸·ÀÌ 5nm~200nmÁ¤µµÀ϶§´Â
> ¾î¶»°Ô µÇ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.
>
> 5nm~200nm À϶§, 5nmÀ϶§³ª 200nmÀ϶§³ª ±¼Àý·ü(n)ÀÌ
> ÀÏÁ¤ÇÑÁö¿ä. À§Çؼ­ ¸»¾¸ÇϽŴë·Î¶ó¸é, ±¼Àý·ü(n)Àº
> 5nmÀ϶§³ª 200nmÀ϶§³ª °°Áö¸¸ ½ÇÁ¦ÀÇ ±¼Àý°¢À̳ª ¹Ý»ç°¢ÀÌ
> Ʋ·ÁÁö°Ô µÇ´Â °Ç°¡¿ä?
>
> ±×¸®°í, ÀÌ·¸°Ô ¹Ú¸·À϶§´Â ¾î¶»°Ô ¹Ý»ç³ª ±¼ÀýÀ» ¾Ë¾Æ³¾ ¼ö
> ÀÖ´ÂÁö ±Ã±ÝÇÕ´Ï´Ù.
>
> ±¤Çп¡ ¹«ÁöÇÑ Àú·Î¼­´Â µüÈ÷ Ã¥À» ºÁµµ Àß ÀÌÇØ°¡
> ¾È°¡¼­ °è¼Ó ¹°¾îº¸°Ô µÇ´Â±º¿ä. ¿Ã¸®´Â ±Û¿¡ ´äº¯Áּż­
> °¨»çÇÒ µû¸§ÀÔ´Ï´Ù.
>
> ¼ö°íÇϼ¼¿ä.
> - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - - -

Áú¹® ÇϽŠºÎºÐÀº Á» Àü¹®ÀûÀÎ ¿µ¿ªÀÔ´Ï´Ù. ¾Õ¼­ÀÇ ´ë´ä¿¡¼­ ±¼ÀýÀ̳ª ¹Ý»çÀÇ ¹ýÄ¢ÀÌ µÎ²¨¿î ¹úÅ©¿¡ ºñÇÏ¿© ´Þ¶óÁø´Ù°í ÇÑ°ÍÀº ±¼Àý°¢À̳ª ¹Ý»ç°¢ÀÌ ´Þ¶óÁø´Ù´Â °ÍÀº ¾Æ´Ï°í ´ÜÁö ¹Ý»ç³ª ±¼Àý½Ã ±× µÎ²²¿¡ ÀÇÇÑ È¿°ú°¡ °¡¼¼µÈ´Ù´Â °ÍÀ̾ú½À´Ï´Ù.

µÎ²² ¶§¹®¿¡ ¿À´Â È¿°ú¶ó´Â °ÍÀº ¾Õ¸é°ú µÞ¸é µÎ ¸é¿¡¼­ ¹Ý»ç µÈ ºûÀÌ ¸¸³ª¼­ °£¼·ÀÌ ÀϾ±â ¶§¹®ÀÔ´Ï´Ù. Áï ÀϹÝÀûÀÎ ¹Ý»çÇö»ó¿¡ °£¼·ÀÌ °¡¹ÌµÇ¾î ÀÔ»çÇÏ´Â ºûÀÇ Æí±¤¿¡ µû¶ó¼­ ´Ù¸¥ Æí±¤»óÅ·Π¹Ý»çµË´Ï´Ù. (±¼Àýµµ ¸¶Âù°¡Áö)

ÇÑ °æ°è¿¡¼­ÀÇ ¹Ý»ç³ª ±¼ÀýÀÇ ¹ýÄ¢Àº Fresnel EquationÀ¸·Î Àß ¾Ë·ÁÁ® Àִµ¥ ÀÌ´Â º¸ÅëÀÇ ÇкΠ"±¤ÇÐ"À̳ª "ÀüÀÚ±âÇÐ" ±³Àç¿¡ ³ª¿Í ÀÖ½À´Ï´Ù. ÀÌ ½ÄÀ» ±â¹ÝÀ¸·Î ÇÏ¿© ¹Ú¸·¿¡¼­ÀÇ °£¼·È¿°ú¸¦ °í·ÁÇÑ À̷нÄÀ» ¼¼¿ï ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. À̸¦ ¼Ò°³ÇÑ Àü¹® µµ¼­·Î´Â
"Ellipsometry and Polarized Light" (Azzam & Bashara Àú) ¶ó´Â Ã¥À» µé ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù. Áú¹®ÇϽŠ³»¿ëÀ» ¸ðµÎ ÃæÁ·ÇÒ¸¸ÇÑ ³»¿ëÀ» ´ã°í ÀÖ½À´Ï´Ù. (±¼Àý·ü¿¡ °ü°èµÈ ¹°¼ºÀ» ÃøÁ¤ÇÏ´Â ±â°è¸¦ Ellipsometer¶ó°í ÇÏ¿© ´õ·¯ ¹°¸®ÇÐÀ̳ª ¹ÝµµÃ¼ °ü·Ã ¿¬±¸½Ç¿¡ ÀÖÀ» ¼ö ÀÖ½À´Ï´Ù.)


Á¤±â¼ö
ÀÌÀü±Û : ½Ã°£ÆØâ°ú ±æÀ̼öÃà¿¡ ´ëÇØ (supmoo)
´ÙÀ½±Û : °ø°£¼öÃà°ú ½Ã°£ÆØâ¿¡ ´ëÇؼ­ (blue)

¹øÈ£ Á¦ ¸ñ ÀÛ¼ºÀÚ ÀÛ¼ºÀÏ Á¶È¸ ÆÄÀÏ
 533 ¸ÅÁúµÎ²²¿¡ µû¸¥ ±¼ÀýÀ² º¯È­¿©ºÎ ¿í½º 2002-10-01 3898 --
 537 [Re]¸ÅÁúµÎ²²¿¡ µû¸¥ ±¼ÀýÀ² º¯È­¿©ºÎ Á¤±â¼ö 2002-10-02 2506 --
 539 [Re][Re]¸ÅÁúµÎ²²¿¡ µû¸¥ ±¼ÀýÀ² º¯È­¿©ºÎ ¿í½º 2002-10-03 2438 --
  [Re][Re][Re]¸ÅÁúµÎ²²¿¡ µû¸¥ ±¼ÀýÀ² ... Á¤±â¼ö 2002-10-04 2497 --