질문과 답 - 내용

제목: 단파장으로 박막 두께측정하기 4213번 글을2007-05-29 오후 8:31:29에 유성식 님이 남겨주셨습니다. 이 글은 3179번 조회되었습니다. Si3N4 ----- SiO2 ----- Si 층으로 구성된 막의 SiO2의 두께 측정을 위한 인자가 무엇 무엇 필요한지요 입사각은 10도내로 하였을 경우입니다. 위의 각물질에 대한 반사계수와 굴절계수등 두께측정을 위한 필요한 계수 정보가 있으면 알려주세요. 만일 질화막이(Si3N4)이 아주얇게 입혀져 있으면(100A정도),SiO2막과 구별이 가능할지도 알고 싶습니다. 지금 막질의 두께를 측정하려고 하는데 막막하네요 ^^; 그럼 수고하세요~~~ 이전글 : 물리 문제좀 풀어 주세요./ (이석우) 다음글 : CO2 레이저 준위의 명칭에 대한 질문이예요. (조현호)